-
SRT300 – 單片導片機（獨立式）
2013-11-13
SRT300 – 單片導片機（獨立式） 世界晶圓傳送設備主要廠商RECIF生產的無真空晶圓邊緣接觸或晶圓背面三點接觸式超清潔導片機。 本設備自帶FFU環境，潔凈度達到0.1級 本產品集成晶圓定位和晶圓刻號讀寫功能在傳送手臂上，所以本產品具有體積小，傳送效率高和最低的生產成本。 可選擇配置2，3或4個晶圓盒裝載臺。 SRT300 –wafer sorter（stand alone） ?Vacuum free edge contact wafer handling。 Class 0.1 mini-environment – In house developed FFU Patented embedded alignment and ID reading on finger。 Smallest footprint 2 to 4 FOUP configuration available.
-
-
-
SPP200S – SMIF型導片機
請參閱：?http://www.reciftech.com/index.php?id=89&id_cat=3&id_prod=11 please see details at：?http://www.reciftech.com/index.php?id=89&id_cat=3&id_prod=11
-
ESR300 – 單片導片機（集成式）
ESR300 – 單片導片機（集成式） 本產品可以和市場上主要的晶圓儲存系統（wafer stocker）集成在一起，以幫助客戶減少生產成本。 可選擇配置2或4個晶圓裝載臺 ESR300 – wafer sorter（embedded with stocker） It can be embedded with stocker, reduce fab running cost。 Patented embedded alignment and ID reading on finger 2 or 4 FOUP configuration available
-
BPP300 – 25片整批導片機
BPP300 – 25片整批導片機 ?RECIF專利 – 無真空晶圓邊緣接觸式整批導片機，可以實現25片晶圓一次轉移到另一晶圓盒。 每小時可導片2，800片。 BPP300 – 25 transfer system RECIF patented – Vacuum free edge contact 25 wafers transfer system， Transfer 25 wafers at once Throughput – 2800WPH。
-
BLM300 – 強光燈檢測模塊
BLM300 – 強光燈檢測模塊 ?本產品可以放置在晶圓導片機或生產設備的晶圓裝載臺上，透過三個特制的強光燈的燈光，操作工可以檢測晶圓表面的顏色均勻度，灰塵顆粒和劃傷。 BLM300 – Bright Light Module The bright light module can be placed on the load port of a compatible 300mm wafer sorter or process tool, used in automatic or manual mode, operator can use it to inspect wafer surface for color uniformity, particles and scratches.
-
SPP200D – 非SMIF型導片機
詳情請參閱：http://www.reciftech.com/index.php?id=89&id_cat=3 please see deatils at：http://www.reciftech.com/index.php?id=89&id_cat=3
-
光罩檢測晶圓排序機
光罩檢測晶圓排序機 法國RECIF的SPR光罩設備是自動光罩移片機,并帶有灰塵顆粒檢測和消除靜電功能, 本設備可以使用SMIF盒和手動打開的光罩運輸盒, 可以把光罩從光罩運輸盒傳送到SMIF盒里. 本產品不需真空,可以讀光罩刻號并具有實時光罩安全監測功能. SPR – Reticle handling and inspection The RECIF’s SPR reticle tool is automated reticle sorter with an inspection station combined with a de-ionized nitrogen cleaning feature. The reticle tool can be configured for both manual open shipping boxes and SMIC compatibility, reticles can be transfer from shipping box to SMIF POD’s Vacuum free reticle transfer and ID read.
-
NEF200 – 晶圓缺口定位和晶圓提升機
NEF200 – 晶圓缺口定位和晶圓提升機 本產品可以定位晶圓缺口到任意需要的角度，然后把所有晶圓抬成階梯形，在光照下，操作工可以讀晶圓刻號和檢測晶圓損傷. 本產品由純凈有機材料制成，具有靜電保護功能，所有符合ＳＥＭＩ標準的晶圓盒都可以使用. NEF200 – Notch finder and elevator The NEF200 incorporates a notch aligner to position wafers at a desired angle and the elevates all wafers at a slope. A lighting ramp enables the operator to visually read wafer scribes or inspect wafers. The tools are made of clean organic material．Provide true ESD protection.
-
SPP200 – 單片導片機
SPP200 – 單片導片機 本產品使用非真空技術，可以從同一晶圓盒取放晶圓，或從一晶圓盒取晶圓，但放到另一晶圓盒里． 使用單一晶圓手臂，在保證晶圓安全下，和晶圓背面有最少的線性接觸． 本產品由純凈有機材料制成，具有靜電保護功能，所有符合ＳＥＭＩ標準的晶圓盒都可以使用 SPP200 – wafer sorter RECIF patented vacuum free edge contact, embedded wafer alignment and ID reading． Transfer wafer from one carrier to another carrier．
-
BPP200 – 整批導片機
BPP200 – 整批導片機 本產品使用無真空技術 晶圓整體從一個晶圓盒拿出，放到另一個晶圓盒里 實時晶圓安全監測 可以選擇一個或兩個晶圓盒放置臺 BPP200 – Batch wafer transfer Vacuum free edge contact Transfer batch wafers One or two load port optional
