BPP200 – 整批導片機
發布于：
2013年11月12日
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BPP200 – 整批導片機
- 本產品使用無真空技術
- 晶圓整體從一個晶圓盒拿出，放到另一個晶圓盒里
- 實時晶圓安全監測
- 可以選擇一個或兩個晶圓盒放置臺
BPP200 – Batch wafer transfer
- Vacuum free edge contact
- Transfer batch wafers
- One or two load port optional