光罩檢測晶圓排序機
發布于：
2013年11月12日
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光罩檢測晶圓排序機
- 法國RECIF的SPR光罩設備是自動光罩移片機,并帶有灰塵顆粒檢測和消除靜電功能, 本設備可以使用SMIF盒和手動打開的光罩運輸盒, 可以把光罩從光罩運輸盒傳送到SMIF盒里.
- 本產品不需真空,可以讀光罩刻號并具有實時光罩安全監測功能.
SPR – Reticle handling and inspection
- The RECIF’s SPR reticle tool is automated reticle sorter with an inspection station combined with a de-ionized nitrogen cleaning feature.
- The reticle tool can be configured for both manual open shipping boxes and SMIC compatibility, reticles can be transfer from shipping box to SMIF POD’s
- Vacuum free reticle transfer and ID read.