SRT300 – 單片導片機（獨立式）

2013-11-13

SRT300 – 單片導片機（獨立式） 世界晶圓傳送設備主要廠商RECIF生產的無真空晶圓邊緣接觸或晶圓背面三點接觸式超清潔導片機。 本設備自帶FFU環境，潔凈度達到0.1級 本產品集成晶圓定位和晶圓刻號讀寫功能在傳送手臂上，所以本產品具有體積小，傳送效率高和最低的生產成本。 可選擇配置2，3或4個晶圓盒裝載臺。 SRT300 –wafer sorter（stand alone） ?Vacuum free edge contact wafer handling。 Class 0.1 mini-environment – In house developed FFU Patented embedded alignment and ID reading on finger。 Smallest footprint 2 to 4 FOUP configuration available.

分類： 300mm設備/晶圓傳送設備/晶圓半導體設備

標簽：300mm單片導片機導片機晶元半導體設備晶圓傳送設備獨立式