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SRT300 – 單片導片機（獨立式）
2013-11-13
SRT300 – 單片導片機（獨立式） 世界晶圓傳送設備主要廠商RECIF生產的無真空晶圓邊緣接觸或晶圓背面三點接觸式超清潔導片機。 本設備自帶FFU環境，潔凈度達到0.1級 本產品集成晶圓定位和晶圓刻號讀寫功能在傳送手臂上，所以本產品具有體積小，傳送效率高和最低的生產成本。 可選擇配置2，3或4個晶圓盒裝載臺。 SRT300 –wafer sorter（stand alone） ?Vacuum free edge contact wafer handling。 Class 0.1 mini-environment – In house developed FFU Patented embedded alignment and ID reading on finger。 Smallest footprint 2 to 4 FOUP configuration available.
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ESR300 – 單片導片機（集成式）
2013-11-12
ESR300 – 單片導片機（集成式） 本產品可以和市場上主要的晶圓儲存系統（wafer stocker）集成在一起，以幫助客戶減少生產成本。 可選擇配置2或4個晶圓裝載臺 ESR300 – wafer sorter（embedded with stocker） It can be embedded with stocker, reduce fab running cost。 Patented embedded alignment and ID reading on finger 2 or 4 FOUP configuration available
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SPP200 – 單片導片機
SPP200 – 單片導片機 本產品使用非真空技術，可以從同一晶圓盒取放晶圓，或從一晶圓盒取晶圓，但放到另一晶圓盒里． 使用單一晶圓手臂，在保證晶圓安全下，和晶圓背面有最少的線性接觸． 本產品由純凈有機材料制成，具有靜電保護功能，所有符合ＳＥＭＩ標準的晶圓盒都可以使用 SPP200 – wafer sorter RECIF patented vacuum free edge contact, embedded wafer alignment and ID reading． Transfer wafer from one carrier to another carrier．
