BPP300 – 25片整批導片機
發布于：
2013年11月12日
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BPP300 – 25片整批導片機
- ?RECIF專利 – 無真空晶圓邊緣接觸式整批導片機，可以實現25片晶圓一次轉移到另一晶圓盒。
- 每小時可導片2，800片。
BPP300 – 25 transfer system
- RECIF patented – Vacuum free edge contact 25 wafers transfer system，
- Transfer 25 wafers at once
- Throughput – 2800WPH。