BLM300 – 強光燈檢測模塊
發布于：
2013年11月12日
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BLM300 – 強光燈檢測模塊
- ?本產品可以放置在晶圓導片機或生產設備的晶圓裝載臺上，透過三個特制的強光燈的燈光，操作工可以檢測晶圓表面的顏色均勻度，灰塵顆粒和劃傷。
BLM300 – Bright Light Module
- The bright light module can be placed on the load port of a compatible 300mm wafer sorter or process tool, used in automatic or manual mode, operator can use it to inspect wafer surface for color uniformity, particles and scratches.