BFS300 – 25片翻片機
發布于：
2013年10月12日
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BFS300 – 25片翻片機
- ?RECIF專利 – 無真空晶圓邊緣接觸式整批翻片機，可以實現25片晶圓一次反轉。
- 每小時可實現翻片1，500片。
BFS300 – batch flip system
- RECIF patented – vacuum free edge contact,
- Flip 25 wafers at once
- Throughput – 00 WPH
- 已經沒有了
- 真空吸筆 ?